工业气体行业报告：电子特气行业（68页）

在半导体材料中，电子气体是仅次于大硅片的第二大市场需求，电子气 体在 2016 年的半导体材料市场占比达 14%。随着半导体产业的发展，电子 气体市场也随之增长。2016 年全球电子特种气体市场规模为 38.9 亿美元， 并于 2018 年增长至 45.12 亿美元，较 2016 年增长 15.93% 。而随着全球 半导体产业链向国内转移，国内电子气体市场提速明显，远高于全球增速。 根据中国半导体行业协会统计的数据，2010-2018 年，我国的电子特殊气体 行业的市场规模一直维持着高速发展的趋势，已在2018年达到121.56亿元， 较 2017 年同比增长 11.19%。 近年来国内半导体市场发展迅速，在建和未来规划建设的产能为电子气 体提供了广阔的空间。随着半导体集成电路技术的发展，对电子气体的纯度 和质量也提出了越来越高的要求。电子气体的纯度每提升一个数量级，对下 游集成电路行业都会产生巨大影响。2014 年国家发布了《国家集成电路产 业发展推进纲要》并设立了集成电路产业投资基金，根据规划，我国集成电 路销售额年均增速将保持在 20% 左右，预计 2020 年将达到 8700 亿元。 若国内半导体集成电路用电子气体保持同样稳定的增速，其 2020 年市场规 模将在 2018 年的基础上增长 44%。

中国工业气体市场随着改革开放后经济的高速发展而迅速发展壮大。较 早发展起来的是以现场制气为主要供气方式的大宗集中用气市场。 20 世纪 80 年代起，以液化空气、林德集团为代表的外资气体供应商开始进入中国市 场，并依靠雄厚的资金实力和丰富的项目运作经验迅速占领了国内制气市场。 随着国内技术进步和产业转型升级，以盈德气体、宝钢气体为代表的中国本 土气体公司也加入了大规模现场制气的竞争，凭借着成本以及本土化优势， 在国内市场上占据了一定的市场份额。 由于工业气体行业较空分设备行业具有市场容量大、现金流稳定、行业 周期性波动小等诸多优势，近年来国内大型的空分设备生产企业如杭氧股份、 四川空分集团也开始由单纯的设备制造商向大型现场制气供应商转型。目前 国内大型现场制气市场形成了外资巨头、国内专业气体供应商、空分设备制 造商共同竞争的局面，竞争较为激烈。 3.2、短期内技术难以攻克 国内外企业市场份额占比悬殊的主要缘由之一便是难以在短期内弥补 的技术差距。特种气体生产是一个系统工程，涉及到气体的深度提纯技术、 痕量杂质分析检测技术、气瓶的内表面处理技术、有毒尾气的解毒处理技术 等。电子气体技术无法攻克的原因有很多： 一是深度提纯技术难度较大。据浙江大学半导体材料研究所研究员京松 介绍，以硅烷为例，将其纯度由 4N 提纯到 6N 中间有漫长的道路，除了要 解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到 10-9 级和 10-12 级， 为此要开发新的工艺或新的吸附剂、催化剂。 二是包装盒储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量地 气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的 发生。国际知名的气体公司均独立开发了适用于当代电子气体包装储运的气 瓶和气瓶处理技术。国内在这方面尚未进行过系统研究开发工作，与国外差 距甚大。 三是分析检验观念落后。国外已研发出系统完整的分析测试方法和现场 分析仪器，对电子气体中危害较大的杂质组分、颗粒以及金属离子等退出了 多种分析仪器。而我国在“产品是生产出来的，不是检测出来的”这一指导 思想下，对电子气体生产应用领域分析检测技术的研究开发工作不够重视。 目前国内的分析测试技术水平尚不能与国际接轨。