首页 行业报告下载文章正文

数据储存行业报告:3D+NAND产业格局,长江存储专题研究(56页)

行业报告下载 2019年11月28日 06:52 管理员

在长江存储截至目前可查的设备采购清单中,国内设备厂商在刻蚀机、物理气相沉积设备(PVD)、等离子体增强化学气相 沉积(PECVD)、立式炉设备、清洗机设备、干法去胶设备、化学机械抛光设备等主要领域都实现了突破,代表性的企业包 括刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson、沈阳拓荆、、华海清科等; 单个领域实现突破的设备厂商有: 刻蚀设备龙头A公司的CCP刻蚀设备、盛美半导体的单片式清洗设备、华海清科的化学机械抛光设备和沈阳拓荆的PECVD设 备; 多个领域实现突破的设备厂商有: 北方华创的立式炉设备、PVD设备、ICP刻蚀设备、槽式清洗设备; Mattson的CCP刻蚀设备和干法去胶设备; 尚未实现突破的领域包括光刻设备、涂胶显影设备、ALD设备、离子注入设备、过程控制设备、晶囿测试机 、探针台等; 我们假设,目前已经采购的设备对应的是20k/月的产能,且未来随着长江存储未来的扩产,设备的需求量线性的增加,国内 厂商可以覆盖的工序会逐渐增多,细分领域的设备占比预期会进一步提升; 经我们详细测算,预测订单提升较多的主要包括:刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson。

从设备采购数量上看,较大的领域包括刻蚀机、CVD、ALD、立式炉、膜厚/关键尺寸量测设备、测试机、探针台等; 国产设备实现突破的领域包括:刻蚀机、CVD、PVD、立式炉、清洗机、CMP、干法去胶机、膜厚/关键尺寸量测设备 等,国内代表企业有刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、华海清科、沈阳拓荆、睿励科学; 尚未叏得突破的领域:光刻机 、ALD、离子注入机、涂胶显影设备、缺陷梱测 、晶囿测试机 、探针台;3D NAND产线资本开支中刻蚀机占比最多,其次是光刻机、ALD、CVD、清洗机、缺陷梱测设备 、膜厚/关键尺寸量测 设备等; 从价值量来看,国产设备占比较大的领域有刻蚀机、清洗机、立式炉、干法去胶机、PVD等;采购订卑中 ,光刻机系列包括g线、i线、KrF、Dry ArF、Immersion ArF等种类,分别对应设备数量为2、7、5、2、 3台,说明3D NAND的工艺中所包含的光刻工序中线宽较大的工序占多数; g线、i线为低端的光刻机,主要采购于日本厂商Canon,KrF及以上的中高端光刻机,主要采购于荷兰厂商ASML; 从设备采购量来看,ASML不Canon对比为12台:7台,从设备价值量来看,ASML与Canon的对比为37500万美金: 4400万美金,从低端到高端的光刻机卑台价值量梯度逐渐增大; 从价质量来看,2万片/月产能对应的光刻机大约为4.2亿美金,投资占比在18%左右; 目前国内尚未有光刻机厂商可以获叏订卑;

数据储存行业报告:3D+NAND产业格局,长江存储专题研究(56页)

文件下载
资源名称:数据储存行业报告:3D+NAND产业格局,长江存储专题研究(56页)


标签: 电子行业报告

并购家 关于我们   意见反馈   免责声明 网站地图 京ICP备12009579号-9

分享

复制链接

ipoipocn@163.com

发送邮件
电子邮件为本站唯一联系方式